1. Sintéis solvoteirmeach
1. Amhcóimheas ábhartha
Measctar púdar since agus púdar seiléiniam ag cóimheas mólar 1:1, agus cuirtear uisce dí-ianaithe nó eitiléin glycol leis mar mheán tuaslagóra 35.
2.Coinníollacha imoibrithe
Teocht imoibrithe: 180-220°C
Am imoibrithe: 12-24 uair an chloig
o Brú: Coinnigh an brú féinghinte sa chíteal imoibrithe dúnta
Éascaítear an teaglaim dhíreach de since agus seiléiniam trí théamh chun criostail seiléiníde since nanoscála a ghiniúint 35.
3.Próiseas iar-chóireála
Tar éis an imoibrithe, rinneadh lártheifneoiriú air, nite le hamóinia caolaithe (80 °C), meatánól, agus triomaíodh é i bhfolús (120 °C, P₂O₅).btainpúdar > íonacht 99.9% 13.
2. Modh taiscthe gaile ceimicigh
1.Réamhchóireáil amhábhar
o Is é íonacht an amhábhair since ≥ 99.99% agus cuirtear i mbreogán graifíte é
Déantar gás seiléiníde hidrigine a iompar trí ghás argóin.
2.Rialú teochta
o Crios galúcháin since: 850-900°C
Crios taiscthe: 450-500°C
Taisceadh treorach gaile since agus seiléiníd hidrigine de réir grádán teochta 6.
3.Paraiméadair gháis
Sreabhadh argóin: 5-10 L/nóim
o Brú páirteach seiléiníd hidrigine:0.1-0.3 atm
Is féidir le rátaí taiscthe 0.5-1.2 mm/u a bhaint amach, rud a fhágann go bhfoirmítear seiléiníd since polachriostalach 6 atá 60-100 mm ar tiús..
3. Modh sintéise dírí céim sholadaigh
1. Amhláimhseáil ábhair
Rinneadh imoibriú idir an tuaslagán clóiríd since agus an tuaslagán aigéid ocsaileach chun deascán ocsaileáit since a fhoirmiú, a triomaíodh agus a meilteadh agus a meascadh le púdar seiléiniam ag cóimheas 1:1.05 mólar 4..
2.Paraiméadair imoibriúcháin theirmeacha
Teocht foirnéise feadáin folúis: 600-650°C
o Am te a choinneáil: 4-6 uair an chloig
Gintear púdar seiléiníde since le méid cáithníní 2-10 μm trí imoibriú idirleata céim sholadaigh 4.
Comparáid idir príomhphróisis
| modh | Topagrafaíocht táirge | Méid na gcáithníní/tiús | Criostalacht | Réimsí feidhme |
| Modh solvothermal 35 | Nana-liathróidí/slata | 20-100 nm | Sfalarít chiúbach | Gléasanna optúlaictreonacha |
| Taisceadh gaile 6 | Bloic pholachriostalach | 60-100 mm | Struchtúr heicseagánach | Optaic infridhearg |
| Modh céim sholadaigh 4 | Púdair micrónmhéide | 2-10 μm | Céim chiúbach | Réamhtheachtaithe ábhair infridhearg |
Príomhphointí rialaithe próisis speisialta: ní mór don mhodh solvothermal dromchlaghníomhaithe amhail aigéad oleic a chur leis chun an mhoirfeolaíocht 5 a rialáil, agus éilíonn an taisceadh gaile go mbeadh garbh an tsubstráit
1. Taisceadh gaile fisiciúil (PVD).
1.Cosán Teicneolaíochta
o Déantar amhábhar seiléiníde since a ghalú i dtimpeallacht folúis agus a thaisceadh ar dhromchla an tsubstráit ag baint úsáide as teicneolaíocht spútarála nó galúcháin theirmigh12.
o Téitear foinsí galúcháin since agus seiléiniam go grádáin teochta éagsúla (crios galúcháin since: 800–850 °C, crios galúcháin seiléiniam: 450–500 °C), agus rialaítear an cóimheas stoicheiméadrach tríd an ráta galúcháin a rialú.12.
2.Rialú paraiméadair
o Folús: ≤1 × 10⁻³ Pa
o Teocht bhunúsach: 200–400°C
o Ráta taiscthe:0.2–1.0 nm/s
Is féidir scannáin seiléiníde since le tiús 50–500 nm a ullmhú lena n-úsáid in optaic infridhearg 25.
2Modh muilleoireachta liathróide meicniúil
1.Láimhseáil amhábhar
o Measctar púdar since (íonacht ≥99.9%) le púdar seiléiniam ag cóimheas mólar 1:1 agus luchtaítear é i ngloine muileann liathróid cruach dhosmálta 23.
2.Paraiméadair phróisis
Am meilt liathróide: 10–20 uair an chloig
Luas: 300–500 rpm
o Cóimheas millíní: 10:1 (liathróidí meilte siorcóin).
Gineadh nana-cháithníní since seiléiníde a bhfuil méid cáithníní 50–200 nm iontu trí imoibrithe cóimhiotail mheicniúla, agus íonacht >99% acu 23.
3. Modh shintéirithe brúite te
1.Ullmhúchán réamhtheachtaí
o Nanopúdar seiléiníde since (méid na gcáithníní < 100 nm) sintéisithe tríd an modh solvotheirmeach mar amhábhar 4.
2.Paraiméadair shintéirithe
Teocht: 800–1000°C
Brú: 30–50 MPa
o Coinnigh te: 2–4 uair an chloig
Tá dlús > 98% ag an táirge agus is féidir é a phróiseáil i gcomhpháirteanna optúla mórfhormáide amhail fuinneoga infridhearg nó lionsaí 45.
4. Eipitacsaíocht bhíoma mhóilíneach (MBE).
1.Timpeallacht fholús ultra-ard
o Folús: ≤1 × 10⁻⁷ Pa
Rialaíonn na bíomaí móilíneacha since agus seiléiniam an sreabhadh tríd an bhfoinse galúcháin bhíoma leictreon go beacht6.
2.Paraiméadair fáis
o Teocht bonn: 300–500°C (úsáidtear foshraitheanna GaAs nó saifír go coitianta).
o Ráta fáis:0.1–0.5 nm/s
Is féidir scannáin tanaí seiléiníde since aonchriostail a ullmhú i raon tiús 0.1–5 μm le haghaidh gléasanna optúlaictreonacha ardchruinneas56.
Am an phoist: 23 Aibreán 2025